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ceramicforum晶片內位錯檢測儀CS-1

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更新(xin)日期:2023-05-21

簡要描述:

ceramicforum晶片內位錯檢測儀CS-1
"Crystalline Tester CS1"是非破壞性、非接觸式(shi)檢測可(ke)見(jian)光(波長400~800nm)透(tou)明性晶(jing)體(ti)材料中由于殘(can)留的缺陷、應力引(yin)起的晶(jing)格畸變(bian)后分布情況的便捷式(shi)檢測設(she)備。

品牌其他品牌類型無損傷
產地進口

ceramicforum晶片內位錯檢測儀CS-1

ceramicforum晶片內位錯檢測儀CS-1

"Crystalline Tester CS1"是非破壞(huai)性(xing)、非接觸式檢測可(ke)見光(波長400~800nm)透明(ming)性(xing)晶(jing)體材料中由于殘留的缺陷、應力引起的晶(jing)格(ge)畸(ji)變后分布情況(kuang)的便捷式檢測設備(bei)。通過本(ben)設備(bei)可(ke)以實現快速、準確(que)地把握目檢下無法看到的晶(jing)體晶(jing)格(ge)畸(ji)變的狀態。

ceramicforum晶片內位錯檢測儀CS-1

產品特征

產(chan)品特(te)長

  1. 高速測量(6" 襯底 90秒)
    ?可以最快速度簡捷方式觀察殘留應力分布。

  2. 縱向結晶評價
    ?因為是透視型結晶評價裝置,所以不只可以觀察襯底表面,還可以觀察包括Z軸方向的晶圓所有部位。

  3. 可取得與X-Ray Topography imaging comparison同等測試效果
    ?可以取得同等測試效果,實現高速低成本。

  4. 價格競爭力
    ?在晶片測量裝置中,屬于性價比好的一款系統。

可(ke)測量材料

  1. SiC單晶襯底(di)、及SiC外延襯底(di)

  2. GaN單晶襯底、及(ji)GaN外延(yan)襯底

  3. AlN單晶襯底(di)、及(ji)AlN外延襯底(di)

  4. 可(ke)視(shi)光可(ke)透視(shi)、有雙折射效果的結晶(jing)均可(ke)。

測(ce)試效果不(bu)佳材料

?無可視光透視性材料:Si、GaAs等
?無雙折射效果材料:藍寶石、Ga2O3 等



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